国家计量检定(试行)规程中规定“三坐标测量仪检定的周期根据具体情况而定，一般为两年，对干使用频繁环境条件差的为一年。一般情况下，我们只需对测量的重复性及三坐标综合误差进行定期检定测量即可。
(1)三坐标测头系统的校验
将直径大于10mm小于30mm的标准球作为实物标准，在被固定的标准球上大体均匀分布地随机测量25个点，方向可自由选择，由25个测量数据用小二乘法计算标准球的中心，并由此中心计算25点的测量半径，如果25个测量半径的是大变化范围Rmax_一Rmin数值小于三坐标测量仪厂家所给的测头的精度R3，则测头系统性能合格。如果半径的变化范围大于R3，则需彻底检查三坐标测量仪测头系统，再重新安装测量。如果反复安装测量，测头的半径变化范围均大于R3，则该 三坐标测头就应该考虑是否能够再继续使用。
(2)三坐标测量的重复性
将3等或零级量块安装在专用支架上，并固定于仪器工作行程范围内任一位置，同时使量块平行X、Y、Z任意轴或者是某一对角线方向，然后用三坐标测头依次与量块两工作面中心位置接触测量，测得量块尺寸次数不小于10次，以10次测得量块尺寸中大值与小值的差值为测量的重复性误差。