在实际三坐标测量过程中，力变形误差是不可避免的，主要产生原因有：
    1）测量机各个部件相对运动时，它们的重力作用的变化使构件变形发生变化；
    2）被测工件重量、位置的变更引起构件或工件自身变形的变化，这里也包括夹具对变形的影响；
    3）测头及其附件的变更引起的变形的变化；
    4）上述因素引起的气浮导轨气膜厚度的变化；
    5）测量力引起的变形；
    6）由于工件刚度不足产生的变形误差；
    7）测量机构件热变形引起的热应力而产生的力变形；
    8）动力加速度引起的变形；
    一般来说，三坐标测量机作为一种精密测量仪器应有较高的刚度，使力变形不成为影响它的测量精度的因素，但是随着生产节奏的加快，要求三坐标测量机有较高的效率，包括较高的运动速度与探测速度，这就要求它的运动部件质量要轻，但这与提高构件刚度存在一定的矛盾。力变形的影响依然是三坐标测量机的设计与性能评定的中考虑的一个问题。