为了对数据进行准确分析，或者为了数据工程提供工件的逆向原始信息，就需要用这种测量仪对被测工件的表面各个数据点进行精确的扫描.三坐标测量仪应用DMIS程序进行扫描操作，它会在被测物体的各个表面特定区域进行数据点采集，该区域可以是一条线、一个面或者是一个零件的截面、曲面，也可以是特定区域内的与边缘有一定距离的周线。
        只要将被测量物体放在三坐标测量仪的空间里，就可以获得各个被测点的坐标位置，根据这些点的空间坐标值，再计算出被测物体的形状、位置、以及几何尺寸。
        它的基本工作原理是通过探测传感器探头和测量空间的轴线运动配合，对被测元素在离散的空间点进行位置获取，然后通过计算，完成对所测得的点群的分析和拟合，终就能够还原出需要测量的几何数据，在这个基础上再计算出它与理论值之间的偏差，从而顺利完成对于所测得点群的分析和拟合，把要测的几何元素还原出来，在这个基础上就能顺利完成被测零件的检验。
        三坐标测量仪的组成部分主要包括X轴、Y轴、Z轴以及其他主机机械系统。电气控制硬件系统、测头系统以及数据处理软件系统。正向工程包括产品设计、制造和检验，逆向工程则主要包括工件、维测量、设计、制造等。它是将实物转变为模型的数字化技术，是几何模型重建技术、产品制造技术。