在测量技术方面，日本精密测量仪器工业协会常务理事龟井明敏指出：“任何一种加工设备，无论其多么先进，均会出现由热变形引起的偏移和由工具磨损产生的误差，而要掌握这些偏移和误差，则依靠测量技术。”龟井认为，在现场加工过程中，进行测量作业的目标应该是：“①判断产品质量是否合格：即在加工过程中配置测量环节，保证其能够进行终加工；②检测工具磨损、热变形等引起的误差：根据输出的补偿信号，采取相应的措施；③选取生产节拍和制品精度的是佳配合：不仅要保证所选适应技术等精度，还应保证获得相对精度，从而提高总体生产效率。在这些过程中，测量技术起着举足轻重的作用。”

近期，人们对大幅度提高测量精度极为关注。原来为0.1mm左右的精度，现在已能达到10μm甚至几μm的水平。三坐标测量机或带摄像头的专用测量机已配置带有在线激光测头系统等附属装置，使之具有多种测量功能。另外，弗尔迪三坐标推出的能与接触式测头自动切换、配备轻而小的图像测头的三坐标测量机，可在一台仪器上实现接触式和非接触式的测量。