三坐标测量仪、量具和量规均具有检测几何尺寸的功能，但各自具有不同的特点： 
三坐标测量仪是在三维直角坐标系统内测量长度的仪器。通常配有计算机进行数据处理和控制操作。三坐标测量仪是测量和获得尺寸数据的有效的方法之一，因为它可以代替多种表面测量工具及昂贵的组合量规，并快速准确地评价尺寸数据，为操作者提供关于生产过程状况的有用信息，这与所有的手动测量设备有很大的区别。 
量具：量具是测量零件的尺寸、角度、形状精度和相互位置精度等所用的测量工具。量具是实物量具的简称，它是一种在使用时具有固定形态、用以复现或提供给定量的一个或多个已知量值的器具。例如砝码、标准电池、色温灯、电阻器、量块、信号发生器以及(单值或多值的、带或不带标尺的)量器等都是量具。常用量具包括:游标卡尺、千分尺以及百分表等。 
量规：量规结构简单，通常为具有准确尺寸和形状的实体，如圆锥体、圆柱体、块体平板、尺和螺纹件等。常用的量规有量块、角度量块、多面棱体、正弦规、直尺、平尺、平板、塞尺 、平晶和极限量规等 。用量规检验工件通常有通止法、着色法、光隙法和指示表法。其中利用通止法检验的量规称为极限量规（如卡规、光滑塞规、螺纹塞规、螺纹环规等）。