三坐标测量仪三轴均有气源制动开关及微动装置，可实现单轴的精密传动，采用高性能数据采集系统。可应用于：
1．几何尺寸测量：可完成点、线、面、孔、球、圆柱、圆锥、槽、抛物面、环的几何尺寸测量，同时三坐标测量机可测出相关的形状误差。
2．几何元素构造：通过三坐标测量机测量相关尺寸，可构造出未知的点、线、面、孔、球、圆柱、圆锥、槽、抛物面、环等，并计算出它们的几何尺寸和形状误差。
3．计算元素间的关系：通过三坐标测量机测量一些相关尺寸，可计算出元素间的距离、相交、对称、投影、角度等关系。
4．位置误差检测：可完成平行度、垂直度、同轴度、位置度等位置误差的测量。5．几何形状扫描：用亿辉公司提供的软件包可对工件进行扫描测量。