弗尔迪三坐标测量机常用的结构材料有铸铁、钢、花岗石、陶瓷和铝等。

铸铁是应用较为普遍的一种材料,主要用于底座、滑动与滚动导轨、立柱、支架、床身等.它的优点是变形小、耐磨性好、易于加工、成本较低、线膨胀系数与多数被测件(钢件)接近。但铸铁也有缺点:易受腐蚀,耐磨性低于花岗石,强度不高。目前铸铁主要用在划线机等测量机上，现在越来越多地为其它材料(如钢板焊件、花岗石)代替。

钢主要用于外壳、支架等结构，有的测量机底座也采用钢。一般采用低碳钢，而且要进行热处理.钢的优点是刚性和强度好，并且可用焊接件。它的缺点是容易变形,这是因为钢在加工之后，内部的残余应力释放导致变形。

花岗石比钢轻，比铝重，是目前应用较为普遍的一种材料。花岗岩的主要优点是变形小、稳定性好、不生锈，易于作平面加工，易于达到比铸铁更高的平面度，适合制作高精度的平台与导轨。缺点是虽然可以用粘贴的方法制成空心结构，但较麻烦；实心结构质量大，不易加工，特别是螺钉孔和光孔难以加工，不能将磁力表架吸附到其上，造价高于铸铁;花岗石材质较脆，粗加工时容易崩边;遇水会产生微量变形。

陶瓷是近年来发展很快的材料。它是将陶瓷材料压制成形后烧结，再研磨而得.它的特点是多孔、质量轻、强度高、易加工、耐磨性好、不生锈,适于作Y轴和Z轴导轨。缺点是制作设备造价高、工艺要求也较高,而且毛胚制造复杂。

三坐标测量机主要是使用高强度铝合金，这是近几年发展快的新型材料。铝材料的优点是质量轻、强度高、变形小、导热性能好，并且能进行焊接,适合作测量机上的许多部件。应用高强度铝合金是目前的主要趋势。