三坐标测量机一般由测头系统、硬件控制系统、软件系统及其他机械部件组成，如图1所示。几何量测量以点的坐标位置为基础，分为一维、二维和三维测量。三坐标测量机的基本原理是将被测零件放入容许的测量空间，精密地测出被测零件在X、Y、Z三个坐标位置的数值，根据这些点的数值经过计算机数据处理，拟合形成测量元素，如圆、球、圆柱、圆锥、曲面等，经过数学计算得出形状、位置公差及其他几何量数据。

1、被测零件在放到工作台上检测之前，应先清洗去毛刺，防止在加工完成后零件表面残留的冷却液及加工残留物影响测量机的测量精度以及测头的使用寿命。
2、表面粗糙度参数会对精密零件的测量结果产生影响，测量时应予以考虑。
3、被测零件在测量之前应在室内恒温，如果温度相差过大就会影响测量精度。
4、大型及重型零件在放置到工作台上的过程中应轻放，以避免造成剧烈碰撞，致使工作台或零件损伤。
5、小型及轻型零件放到工作台后，应紧固后再进行测量，否则会影响测量精度。
6、在工作过程中，测头换针在转角度时一定要远离零件，以避免碰撞。
7、工作台上只放置要测量的工件，并且注意探针系统在库位架上自动更换时不能碰到工件。
8、每次校准探针前要用主探针探测标准球的位置，机器更换探头，关机，回零位，标准球位置变动后都要进行这个操作。定期（一周）做好常用探针的校准工作，并用测量标准环规和标准球来验证机器精度，保存校准记录。
9、测量完成后保存测量报告，图形数据和测量程序。