1、移动桥式坐标测量机
基座：花岗岩，移动桥式主要用于中等精度的中小机型
工作台：花岗岩
立柱：铸铁
横梁：花岗岩，铝合金
导轨：陶瓷或高模量型的碳素纤维，高强度轻型材料，带涂层的抗时效合金（时效变形小且温度更均匀一致。
测尖：红宝石，氮化硅，氧化锆
测杆：硬质合金（刚度高），陶瓷（质量轻）
2、悬臂坐标测量机
XYZ各轴基座：X轴基座材料为球墨铸铁，宽度设计较宽以增加整体稳定性。
Y，Z轴基座都为空心箱体结构设计，用硬铝材料精铸而成，减轻悬臂梁Y轴自重及承重。
X轴滑座用合金钢材料整块加工而成，并延伸出X轴导轨边沿一段距离，以增加根部强度。
Y轴采用异型中拉空硬质钢管，有效降低自然变形，使整体保持良好几何精度。
滑台：铝合金
主测杆：硬质合金，陶瓷
星形测头：红宝石，氮化硅，氧化锆
3、L型桥式坐标测量机
基座：花岗岩
工作台：花岗岩
立柱：铸铁
横梁：花岗岩，铝合金
导轨：陶瓷或高模量型的碳素纤维，高强度轻型材料，带涂层的抗时效合金（时效变形小且温度更均匀一致。
测尖：红宝石，氮化硅，氧化锆
测杆：硬质合金（刚度高），陶瓷（质量轻）

4、固定桥式坐标测量机
基座：花岗石变形小、稳定性好、不生锈，易于作平面加工，易于达到比铸铁更高的平面度
工作台：花岗石
立柱：铸铁变形小、耐磨性好、易于加工、成本较低、线膨胀系数与多数被测件（钢件）接近
横梁： ①花岗石变形小、稳定性好、不生锈，易于作平面加工，易于达到比铸铁更高的平面度，适合制作高精度的平台与导轨
②铝合金质量轻、强度高、变形小、导热性能好，并且能进行焊接，适合作测量机上的许多部件。
Z轴：陶瓷耐磨性好、不生锈，适于作Y轴和Z轴导轨。
导轨：①铸铁耐磨性和减震性好，热稳定性高，易于铸造和切削加工，成本低
②钢有助于提高导轨的耐磨性，可以采用滓硬钢导轨
测尖： 红宝石，氮化硅，氧化锆
测杆： ①钢②碳化钨③陶瓷④碳纤维（坚硬耐磨）轴向强度和模量高，密度低、比性能高，耐疲劳性好，热膨胀系数小且具有各向异性，耐腐蚀性好电磁屏蔽性好
5、龙门式坐标测量机
基座：花岗岩
工作台：花岗岩
立柱：铸铁
横梁：花岗岩，铝合金
导轨：三向导轨均采用性能稳定的花岗石材料
测尖：红宝石，氮化硅，氧化锆
测杆：硬质合金（刚度高），陶瓷（质量轻）
6、水平臂测量机
基座：花岗岩
工作台：花岗岩
立柱：铸铁
横梁：花岗岩，铝合金
导轨：陶瓷或高模量型的碳素纤维，高强度轻型材料，带涂层的抗时效合金（时效变形小且温度更均匀一致。
测尖：红宝石，氮化硅，氧化锆
测杆：硬质合金（刚度高），陶瓷（质量轻）