三坐标测量机使用过程中难免会发生这样那样的小故障，如果发生故障，三坐标操作员可以先通过三坐标测量仪在运动时的响声来判断导致故障的原因：
    第一、电气系统，电机在参数不合适，机器状态有改变时可能会发生电震，回有很大的声音，这时候如果按下应急键，响声应该消失，在在发出声音的同时手摸电机应该能感觉到明显的震动。
    第二、气震：气震有多种，一种是电机震动引起的，如果压应急应该就没有声音了，另一种是由于气浮块的气体恰好和周围发生谐振。
    第三、机器外罩松动摩擦声音。
    第四、机械部分，机器的传动或者气浮块或者读数头在运动时有声音，传动可能有障碍，气浮块，读读数头可能有摩擦，这类问题可以通过给机器供气后，用手推动测量机有响声的轴来判断，如果是机械问题，这时候就可以听到，可以找到发出声音的部位。
    后要强调的是发现问题后一定要及时解决，三坐标测量机保养对于三坐标测量机的使用寿命延长是很有帮助的。