一、概念

           平面度：指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。

           平面度公差为0.1，实际平面位于距离为0.1的两平行平面内

           二、平面度测量方法

           1、平晶干涉法

            平晶干涉法用光学平晶的工作面体现理想平面，直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。 

            缺点：只能用于测量小平面，如量规的工作面和千分尺测头测量面的平面度误差。

           2、光波干涉法

           光波干涉法常利用平晶进行，可以把干涉图案作为被检验表面的等高线，因此可以画出该表面的形状。

           缺点：这种方法仅适宜测量高光洁表面，测量面积也较小。

           3、打表测量法 

           打表测量法是将被测零件和测微计放在标准平板上，以标准平板作为测量基准面，用测微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向进行测量。

           缺点：测量过程复杂，人为误差大。 

           4、液平面法

           液平面法是用液平面作为测量基准面，液平面由 “连通罐”内的液面构成，然后用传感器进行测量。 

           缺点：此法主要用于测量大平面的平面度误差。

           5、三坐标测量法 

           优点：弗尔迪公司自主研发生产的FD-M、FD-S及FD-Y系列三坐标测量机在测量平面度时可以通过测量软件自动进行平面度误差计算与分析，完全不需人工计算，大大提高测量效率和准确率。

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