目前，三坐标测量软件经历了三个重要发展阶段。
价段是DOS操作系统及其以前的时期，测量软件包能够实现坐标找正，简单几何要素的测量，形位公差和相关尺寸计算。
第二阶段是Windows操作系统时代，这一阶段，计算机的内存容量和操作环境都有了极大的改善，测量软件包在功能的完善和操作的友好性上有了飞跃性的改变，大量的采用图标和窗口显示，使功能调用和数据管理变得异常简单。
第三阶段应该是从上世纪末开始，毫不夸张的讲，这是一次革命性的改变，它以将CAD技术引入到三坐标测量软件包为标志。测量软件使用CAD数模，是受CAD/CAM的影响，也是制造技术发展的必然结果，数控加工中心和CAD/CAM设计和加工编程实现了无图纸制造，自然会影响到三坐标测量机的数模编程和无图纸检测。但是在这方面，测量软件的起步却比数控加工软件要晚得多，究其原因，一方面是在制造业中，测量机的使用和影响远不如数控加工中心那么普遍和重要，另一方面对于测量软件包的开发者也有技术上的难度。


进行测量机的软件操作有多种方法。一种方法是，零件检测程序的编制，每一步都是通过操纵面板上的按钮键进行。这种方法快速、简捷，因此对于操作者不需要太多的计算机应用技能和软件技巧。另一种方法提供一套综合的菜单进行操作，对一些诸如测头修正、零件设置、几何元素的测量均通过操作系统的图形用户接口，以一系列图标的形式表示，点击相应的图标，用户可进行程序的编辑、执行。这种菜单型的结构，可允许配置更多的功能模块，使测量机的应用更为灵活多样，但较种方法而言，它需要操作者有较高的技巧。

目前，在测量机软件应用领域的流行趋势是将控制面板和图形用户接口进行有机的结合，使得初学者轻松方便的使用，而随着操作水平的逐渐提高，又能够充分发挥测量机的效用，从而达到通用、灵活、方便、快捷的操作目的。